濕膜產品總表

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液態光阻產品總表

	產品品名	LP6600	LP7607	LP7805D	LP6802	LP7901
產品基本物性	建議光源	汞燈	汞燈	雷射直接成像	雷射直接成像	雷射直接成像
	配方型態	填充型	非填充型	非填充型	填充型	非填充型
	外觀	藍色	藍色	無色	淡藍色	淡紫色
	固成份/ %	50-55	37-41	25-29	45-55	38-42
	黏度/ Cps 25℃	Zahn Cup#5 55~65sec	Zahn Cup#5 40~80sec	spindle 2, 30rpm 130~180cPs	Zahn Cup#5 50~70sec	Zahn Cup#5 50~70sec
	特性說明	填充型配方，環境適應性佳且耐刮擦、耐疊板特性。	非填充型配方，具有較優異的線路表現，尤其細線路更佳。	具有優異的曝光前後對比，便於曝光定位，浸塗膜面平整性佳,且保有優異的顯影與去膜特性。	具有優異的曝光前後對比，便於曝光定位，高感度賦予極佳的產能效率。	具有優異的曝光前後對比，便於曝光定位，高感度賦予極佳的產能效率。
建議操作使用條件	操作方式	滾塗(水平/垂直)	滾塗(水平)	浸塗	滾塗(水平/垂直)	滾塗(水平)
	烘乾溫度與時間	90~110℃ 1~2 min	90~110℃ 1~2 min	90~110℃ 1~2 min	90~110℃ 1~2 min	90~110℃ 1~2 min
	曝光能量與對應格數	Stouffer 21 Step (100±10 mj/cm2) 8±1	Stouffer 21 Step (100±10 mJ/cm2) 6±1	Stouffer 21 Step (100±10 mj/cm2) 8±1	Stouffer 21 Step (20±5 mj/cm2) 6±1	Stouffer 21 Step (20±5 mj/cm2) 6±1
	顯影	0.75±0.25﹪Na2CO3，30±2℃ 1.4~2.0 kg/cm2，40~50 sec	0.75±0.25﹪Na2CO3，30±2℃ 1.4~2.0 kg/cm2，40~50 sec	0.75±0.25﹪Na2CO3，30±2℃ 1.4~2.0 kg/cm2，40~50 sec	0.75±0.25﹪Na2CO3，30±2℃ 1.4~2.0 kg/cm2，40~50 sec	0.75±0.25﹪Na2CO3，30±2℃ 1.4~2.0 kg/cm2，40~50 sec
乾燥後特性	烘乾後膜厚〈建議值〉	8~12μm	8~12μm	8~12μm	8~12μm	8~12μm
	密著性(百格測試)	100/100	100/100	100/100	100/100	100/100
	烘乾後膜面鉛筆硬度	B~F	F~H	HB~F	B~F	B~F
	耐刮性	佳	佳	佳	佳	佳
	疊板性	優	佳	佳	佳	優

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