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液态光阻产品总表

 产品品名LP6600LP7607LP7805DLP6802LP7901
产品基本物性 建议光源 汞灯 汞灯 雷射直接成像 雷射直接成像 雷射直接成像
配方型态 填充型 非填充型 非填充型 填充型 非填充型
外观 蓝色 蓝色 无色 淡蓝色 淡紫色
固成份/ % 50-55 37-41 25-29 45-55 38-42
黏度/ Cps 25℃ Zahn Cup#5
55~65sec
Zahn Cup#5
40~80sec
spindle 2, 30rpm
130~180cPs
Zahn Cup#5
50~70sec
Zahn Cup#5
50~70sec
特性说明 填充型配方,环境适应性佳且耐刮擦、耐叠板特性。 非填充型配方,具有较优异的线路表现,尤其细线路更佳。 具有优异的曝光前后对比,便于曝光定位,浸涂膜面平整性佳,且保有优异的显影与去膜特性。 具有优异的曝光前后对比,便于曝光定位,高感度赋予极佳的产能效率。 具有优异的曝光前后对比,便于曝光定位,高感度赋予极佳的产能效率。
建议操作使用条件 操作方式 滚涂(水平/垂直) 滚涂(水平) 浸涂 滚涂(水平/垂直) 滚涂(水平)
烘乾温度与时间 90~110℃
1~2 min
90~110℃
1~2 min
90~110℃
1~2 min
90~110℃
1~2 min
90~110℃
1~2 min
曝光能量与对应格数 Stouffer 21 Step
(100±10 mj/cm2) 8±1
Stouffer 21 Step
(100±10 mJ/cm2) 6±1
Stouffer 21 Step
(100±10 mj/cm2) 8±1
Stouffer 21 Step
(20±5 mj/cm2) 6±1
Stouffer 21 Step
(20±5 mj/cm2) 6±1
显影 0.75±0.25﹪Na2CO3,30±2℃
1.4~2.0 kg/cm2,40~50 sec
0.75±0.25﹪Na2CO3,30±2℃
1.4~2.0 kg/cm2,40~50 sec
0.75±0.25﹪Na2CO3,30±2℃
1.4~2.0 kg/cm2,40~50 sec
0.75±0.25﹪Na2CO3,30±2℃
1.4~2.0 kg/cm2,40~50 sec
0.75±0.25﹪Na2CO3,30±2℃
1.4~2.0 kg/cm2,40~50 sec
乾燥后特性 烘乾后膜厚
〈建议值〉
8~12μm 8~12μm 8~12μm 8~12μm 8~12μm
密着性(百格测试) 100/100 100/100 100/100 100/100 100/100
烘乾后膜面 铅笔硬度 B~F F~H HB~F B~F B~F
耐刮性
叠板性

上表所列数据资料仅供参考。

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